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芯片代工有中芯国际,那国产光刻机呢?上海微电子已经专研十余年

maliang
maliang 原创
2019-05-24 环球百事网

芯片产业是我国非常薄弱的地方,不仅仅是芯片工程相关的人才缺失,更重要的是设备也稀缺。目前国外主流的芯片已经达到7nm制程工艺,而我国最先进的中芯国际也仅仅能够量产14nm芯片。而这其中最关键的设备就是芯片光刻机。

芯片代工有中芯国际,那国产光刻机呢?上海微电子已经专研十余年

我国的光刻机目前只达到90nm,与国外的水平相差太远。ASML的光刻机已经实现了7nm的制程工艺,而且售价高达1亿美元,还是全球排队购买。之前这种高科技设备对我国都是禁止出口,中芯国际排队好不容易购买到一台光刻机,却在2017年发生“无名”大火,机器还未入境就被烧毁。

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光刻机分为前道光刻机,比如 ASML这种,还有后道光刻机,比如上海微电子。前道光刻机主要用于芯片光刻,面对的客户是中芯国际,台积电这些芯片代工厂。而后道光刻机主要用于芯片封装、屏幕封装等,面对的客户是长电科技这种。

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我国光刻机研发布局其实很早,上海微电子在2008年就研发成功了90nm前道光刻机系统 ,但是核心元器件还需要依靠国外供应商。然而国外供应厂商默契的对核心部件实行禁运,导致国产前道光刻机难以进一步发展,无法达到商用价值。而上海微电子不得不转向后道光刻机的研发,并在针对国内市场,推出了一系列设备。

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其中包括自己生产研发的TFT曝光设备SSB200系列光刻机、LCD Cell段高端屏制造设备、长短寸测量设备、LED/MEMS/功率器件、激光退火设备等等。现在上海微电子生产的设备已经在国内相关产业占据了80%的市场份额,而且国家面对国外的封锁也组装了相关的研究部门进行了联合攻关。并且取得了不错的成绩。

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值得欣慰的是2019年5月初,首台来自荷兰ASML公司的EUV光刻机目前已经安全抵达中芯国际。中芯国际透露,通过所有科研人员的努力研发,目前12nm的芯片已经进入客户验视阶段,如果不出意外的话,很快便有可能将这款12nm的芯片量产。如果良品率、产品质量等各方面都满足,那么很快便可以实现商用。

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目前世界上能够制造顶级光刻机的公司屈指可数,荷兰ASML便是其中之一,而且这家公司目前是世界上最顶尖的光刻机公司,几乎垄断了光刻机行业。不管是台积电还是英特尔,它们的芯片都是通过ASML光刻机制作而成,但这种光刻机不仅售价高昂,还需要排队购买。

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如果12nm的芯片成功量产,那也就意味着我们离摆脱依赖国外进口芯片的局面更进一步。与此同时我们也避免了被西方国家扼住脖子的风险,所以这款芯片和光刻机对于我们的意义是非同寻常的。特别在目前的国际大环境里,不仅是给所有坚持自主研发企业的兴奋剂,也是对外展示我们研发力量的镇山虎。

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